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无机非金属材料工程专业创新实验课程介绍 1
发布人:liying 发布时间:2017-05-27 浏览次数:603次

薄膜的制备与表征创新实验(32 学时,2 学分)作为无机非金属材料工程专业学生必选实验之一,包 括两方面的设计性实验。

1. 物理气相沉积(PVD)法

研究内容为溅射法制备各种金属膜或化合物膜;然后采用接触角测试、四探针法测试电导率、轮廓仪测表面粗糙度等表征方法表征。物理气相沉积法中,选择了应用广泛的直流溅射法和射频溅射法。每名学 生进行 5 个以上实验。

 

 

       (a)  三靶直流溅射设备 (b)  射频溅射设备 图1 本科生使用的物理气相沉积设备

 2. 化学气相沉积(CVD)法

研究内容为化学气相沉积制备碳膜(包括金刚石膜、类金刚石膜等),扫描电镜观测表面形貌、接触角测试、显微硬度测试进行表征。化学气相沉积法中,选择了典型的微波等离子体 CVD 法、射频等离子体 CVD法和热丝 CVD 法。每名学生进行 5 个以上实验。

       (a)  本科生操作射频等离子体 CVD 设备 (b)  微波等离子体 CVD 设备 图2 本科生使用的化学气相沉积设备

        通过实验,学生掌握五种制备薄膜的典型方法,并且掌握基本的薄膜材料电学、力学、表面形貌表征 方法,培养学生分析问题解决问题、实验动手能力等,提高了学生实验技能。实验报告按论文的格式攥写, 训练了查阅资料、综合分析资料、文字写作能力。本科生也在此实验平台进行大创科研训练和毕业论文。

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